1. Загрузка
Змесціце кварцавы тыгель з пакрыццём на цеплаабменны стол, дадайце крэмніевую сыравіну, затым усталюйце ацяпляльнае абсталяванне, ізаляцыйнае абсталяванне і вечка печы, ачысціце печ, каб знізіць ціск у печы да 0,05-0,1 мбар і падтрымлівайце вакуум. Увядзіце аргон у якасці ахоўнага газу, каб падтрымліваць ціск у печы ў асноўным на ўзроўні каля 400-600 мбар.
2. Ацяпленне
Выкарыстоўвайце графітавы награвальнік, каб нагрэць корпус печы, спачатку выпарыце вільгаць, адсарбаваную на паверхні графітавых частак, ізаляцыйнага пласта, крамянёвай сыравіны і г.д., а затым павольна нагрэйце, каб тэмпература кварцавага тыгля дасягнула прыкладна 1200-1300.℃. Гэты працэс займае 4-5 гадзін.
3. Плаўленне
Увядзіце аргон у якасці ахоўнага газу, каб падтрымліваць ціск у печы ў асноўным на ўзроўні каля 400-600 мбар. Паступова павялічвайце магутнасць нагрэву, каб адаптаваць тэмпературу ў тыглі прыкладна да 1500℃, і крамянёвая сыравіна пачынае плавіцца. Трымаеце каля 1500℃падчас працэсу плаўлення, пакуль плаўленне не будзе завершана. Гэты працэс займае каля 20-22 гадзін.
4. Рост крышталя
Пасля расплаўлення крамянёвай сыравіны магутнасць нагрэву зніжаецца, каб тэмпература тыгля ўпала прыкладна да 1420-1440℃, што з'яўляецца тэмпературай плаўлення крэмнія. Затым кварцавы тыгель паступова рухаецца ўніз, або ізаляцыйная прылада паступова падымаецца, так што кварцавы тыгель павольна пакідае зону нагрэву і ўтварае цеплаабмен з навакольным асяроддзем; у той жа час вада прапускаецца праз астуджальную пласціну, каб знізіць тэмпературу расплаву знізу, і крышталічны крэмній спачатку ўтвараецца на дне. У працэсе росту мяжа цвёрдага рэчыва і вадкасці заўсёды застаецца паралельнай гарызантальнай плоскасці, пакуль рост крышталя не завершыцца. Гэты працэс займае каля 20-22 гадзін.
5. Адпал
Пасля завяршэння росту крышталя з-за вялікага градыенту тэмператур паміж ніжняй і верхняй часткамі крышталя ў злітку можа існаваць тэрмічнае напружанне, якое лёгка зноў разбурыць падчас награвання крэмніевай пласціны і падрыхтоўкі батарэі . Такім чынам, пасля завяршэння росту крышталя крэмніевы злітак вытрымліваецца каля тэмпературы плаўлення на працягу 2-4 гадзін, каб зрабіць тэмпературу крэмніевага злітка аднастайнай і знізіць тэрмічнае напружанне.
6. Астуджэнне
Пасля адпалу крамянёвага злітка ў печы адключыце нагрэў, падніміце цеплаізаляцыйную прыладу або цалкам апусціце крэмніевы злітак і ўвядзіце ў печ вялікі паток газу аргону, каб паступова знізіць тэмпературу крэмніевага злітка амаль да пакаёвая тэмпература; у той жа час ціск газу ў печы паступова павышаецца, пакуль не дасягне атмасфернага ціску. Гэты працэс займае каля 10 гадзін.
Час публікацыі: 20 верасня 2024 г